振動ジャイロ・センサ、複合センサ及び振動ジャイロ・センサの製造方法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：千葉剛宏 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-000719
公開番号（公開出願番号）：特開2003-214856
出願日： 1997年03月28日
公開日（公表日）： 2003年07月30日
要約：

【要約】【課題】振動子の特性が周囲の磁場による影響を受け難く、加工が容易であって、電気的な特性の調整も有利に行い得るようにする。【解決手段】振動子2を、支台4と共にセラミックスの一体焼成体にて構成すると共に、支台4よりも薄肉で、かつ、その主面が該振動子2の振動方向に延びる第1の板状部6で構成し、検出部を、第1の板状部6と、該第1の板状部6上に膜形成法によって一体的に形成された検出用圧電/電歪素子12とを有して構成し、振動子2に対して、該振動子2の振動方向における剛性を低下させて振動を容易にするための薄肉の第2の板状部8を、その主面が前記振動方向に対して垂直な方向に延びるように一体的に設け、駆動手段122を、支台4よりも薄肉とし、かつ、その主面が第1の板状部6の主面に平行な方向に延びる第3の板状部10を有するように構成する。

請求項（抜粋）：

駆動用圧電/電歪素子が設けられた駆動手段にて励振振動せしめられる振動子の少なくとも一つと、前記振動子を基端側において支持する支台と、前記振動子が回転したときに、該振動子の振動方向に対して垂直な方向に生じる変位を検出する検出用圧電/電歪素子が設けられた検出部とを有する振動ジャイロ・センサにおいて、前記振動子は、前記支台と共にセラミックスの一体焼成体にて構成されると共に、前記支台よりも薄肉で、かつ、その主面が前記振動方向に延びる第1の板状部で構成され、前記検出部は、前記第1の板状部と、該第1の板状部上に膜形成法によって一体的に形成された前記検出用圧電/電歪素子とを有して構成され、前記振動子に対して、前記振動方向における剛性を低下させて振動を容易にするための薄肉の第2の板状部が、その主面が前記振動方向に対して垂直な方向に延びるように一体的に設けられ、前記駆動手段は、前記支台よりも薄肉とされ、かつ、その主面が前記第1の板状部の主面に平行な方向に延びる第3の板状部を有し、前記第3の板状部は、前記第2の板状部と一体のセラミック焼成体にて構成されていることを特徴とする振動ジャイロ・センサ。

IPC (5件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04 , H01L 41/08 , H01L 41/187 , H01L 41/22

FI (7件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04 , H01L 41/08 Z , H01L 41/22 Z , H01L 41/18 101 B , H01L 41/18 101 C , H01L 41/18 101 D

Fターム (11件)：

2F105AA02 , 2F105AA03 , 2F105AA06 , 2F105AA08 , 2F105BB02 , 2F105BB07 , 2F105BB17 , 2F105CC01 , 2F105CD02 , 2F105CD06 , 2F105CD13

引用特許：

出願人引用 (7件)

振動ジャイロ
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-044247 出願人：日本航空電子工業株式会社
特開平4-157311号公報(図1、図2)
特開平4-62414号公報(図3)

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