特許
J-GLOBAL ID：200903086909179766
基板の撓み防止装置および姿勢変換装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐野 章吾 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-212109
公開番号（公開出願番号）：特開平10-034061
出願日： 1996年07月22日
公開日（公表日）： 1998年02月10日
要約：
【要約】【課題】 ウェット処理工程を終了した矩形もしくは正方形の薄板状基板を、起立姿勢から倒伏姿勢に姿勢変換する姿勢変換装置において、基板の撓みを有効に防止する技術を提供する。【解決手段】 ウェット処理を終了した矩形または正方形の薄板状基板SBを、起立姿勢から倒伏姿勢に姿勢変換する姿勢変換装置に備えられ、倒伏姿勢にある基板SBの撓み部分を係合支持する撓み支持部30と、この撓み支持部30を水平方向へ移動させる水平移動部31と、撓み支持部30を垂直方向へ移動させる垂直移動部32とを備える。倒伏姿勢にある基板SBの撓み部分を水平に修正保持することによって、移載ロボットによる正確かつ円滑な搬出動作を可能とするとともに、隣接の基板同士の重なりによる破損を有効に防止する。
請求項（抜粋）：
矩形もしくは正方形の薄板状基板を複数枚まとめてウェット処理する基板ウェット処理装置の搬出位置において、ウェット処理工程を終了した基板を、起立姿勢から倒伏姿勢に姿勢変換する姿勢変換装置に備えられるものであって、前記倒伏姿勢にある基板の撓み部分を係合支持する撓み部支持手段と、この撓み部支持手段を水平方向へ移動させる水平移動手段と、前記撓み部支持手段を垂直方向へ移動させる垂直移動手段とを備えてなることを特徴とする基板の撓み防止装置。
IPC (4件)：
B05C 13/00
, B08B 11/02
, B65G 49/07
, H01L 21/68
B05C 13/00
, B08B 11/02
, B65G 49/07 Z
, H01L 21/68 A
