特許
J-GLOBAL ID:200903086909219946
高速引張り試験装置及び方法
発明者:
,
,
出願人/特許権者:
代理人 (4件):
川口 嘉之
, 松倉 秀実
, 和久田 純一
, 遠山 勉
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-504477
公開番号(公開出願番号):特表2007-530936
出願日: 2005年03月17日
公開日(公表日): 2007年11月01日
要約:
基板(19)に接着されている導電性ボール(20)の接合強度の引張り試験のための装置及び方法。ボール(20)を把持し、接着面に対してほぼ直交方向に高速で移動させる。基板(19)を当接部(14)によって急停止させて、ボール/基板のインタフェースに急激な荷重をかける。破断力は従来の手段によって測定される。試験の際、基板は、不要な引張り力を排除するためにボールの方へ軽く推進される。
請求項(抜粋):
基板に接着されている導電性ボールの接合強度を試験する方法であって、
試験治具を用いて前記ボールを把持するステップと、
前記基板を前記ボールに軽く押し当てつつ、前記ボールの接着面に対してほぼ直交方向に前記ボールを移動させるステップと、
前記基板を急停止させるステップと
を含む、導電性ボールの接合強度を試験する方法。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (8件):
2G061AA01
, 2G061AB04
, 2G061BA04
, 2G061CA01
, 2G061CB10
, 2G061CB18
, 2G061CC08
, 2G061DA01
引用特許:
審査官引用 (6件)
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半導体装置接合部強度評価装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2002-069453
出願人:株式会社日立製作所
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引張衝撃試験機
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-055755
出願人:株式会社島津製作所
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特開昭61-168235
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特開昭63-069243
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マイクロ接合強度評価試験治具
公報種別:公開公報
出願番号:特願2002-273594
出願人:富士通株式会社
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特許第772036号
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