特許
J-GLOBAL ID:200903086911868250
スピンコート可能な反射防止組成物
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
三浦 邦夫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-183707
公開番号(公開出願番号):特開平6-025599
出願日: 1992年07月10日
公開日(公表日): 1994年02月01日
要約:
【要約】【目的】 スピンコート方式を用いて外観、透明性、反射防止性などに優れた反射防止膜を形成しうる反射防止組成物を提供すること。【構成】 有機シラン化合物、有機ポリシロキサン、含フッ素シリコーン化合物及びこれらの加水分解物並びに金属フッ化物のうちの少なくとも1種と溶媒からなり、総固形分濃度が1〜7重量%であることを特徴とするスピンコート可能な反射防止組成物である。溶媒は、低級アルコール及びエーテルのうちの1種以上を全溶媒量の60重量%以上を含むものが好ましい。
請求項(抜粋):
有機シラン化合物、有機ポリシロキサン、含フッ素シリコーン化合物及びこれらの加水分解物並びに金属フッ化物のうちの少なくとも1種と溶媒からなり、総固形分濃度が1〜7重量%であることを特徴とするスピンコート可能な反射防止組成物。
IPC (5件):
C09D183/04 PMT
, C08K 3/24 LRX
, C08K 5/54 LRU
, C08L 83/04 LRR
, G02B 1/10
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