特許

J-GLOBAL ID：200903086912621607

二次元形状検出装置

発明者： 糸魚川 貢一 ,  村手 真 ,  岩田 仁
出願人/特許権者： 株式会社東海理化電機製作所
代理人 (1件)： 恩田 博宣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-280492
公開番号（公開出願番号）：特開平11-118460
出願日： 1997年10月14日
公開日（公表日）： 1999年04月30日
要約：

【要約】【課題】 被検出体の二次元形状を簡便に検出する。【解決手段】 半導体製造プロセスにて形成された複数の圧力センサ5を備えたセンサチップ2上には検出面4を備えた胴部3を設ける。胴部3には各圧力センサ5毎に圧力センサ5の感圧面6が相対する圧力検出室12を設けるとともに各圧力検出室12を検出面4に連通させる圧力伝達孔13を設ける。又、胴部3には各圧力検出室12を胴部3の外部に連通させる流体流路15を設け、流体流路15には外部に設けられ該流体流路15を介して各圧力検出室12に対してほぼ均等な量のエアを供給する流体給排装置を接続する。検出面4に押し当てられた被検出体により圧力伝達孔13が閉塞されると、対応する圧力検出室12の圧力が上昇するように構成する。

請求項（抜粋）：

複数の圧力センサが、外部から圧力が加えられる感圧面を同一面内に配置した状態で形成されたセンサチップと、前記センサチップ上に配置され、前記各圧力センサ毎に前記各感圧面と相対する圧力検出室が複数形成され、二次元形状が検出される被検出体が押圧される検出面を備えるとともに、前記各圧力検出室毎に該圧力検出室と該検出面とを連通する圧力伝達孔を備えた胴部と、前記各圧力伝達孔が閉塞されたとき、該圧力伝達孔が連通する前記圧力検出室の圧力を変化させる圧力変化生成手段を備えた二次元形状検出装置。

IPC (4件)：

G01B 21/00 ,  A61B 5/117 ,  G01B 13/16 ,  G01L 5/00 101

FI (4件)：

G01B 21/00 D ,  G01B 13/16 ,  G01L 5/00 101 Z ,  A61B 5/10 322

引用特許：

審査官引用 (1件)

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  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-012500   出願人：松下電工株式会社