特許
J-GLOBAL ID：200903086921829547
配線又はパターンの検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石島 茂男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-063801
公開番号（公開出願番号）：特開平10-246748
出願日： 1997年03月03日
公開日（公表日）： 1998年09月14日
要約：
【要約】【課題】複数の配線又はパターンを有する検査対象のオープン不良とショート不良とを迅速に検査できる検査装置を提供する。【解決手段】 複数の配線又はパターン30の各々に異なる電圧を印加する電圧印加手段31と、各配線又はパターン30の電圧を検出する電圧検出手段32とを有する検査装置1について、電圧印加手段31によって各配線又はパターン30に電圧を印加する際、オープン不良又はショート不良があった場合には、良品である場合と異なる電圧になるようにする。リレーを設けて測定する配線又はパターンを切り替えなくても良否を判定することができる。
請求項（抜粋）：
複数の配線又はパターンを有する検査対象の、前記複数の配線又はパターンに電圧を印加する電圧印加手段と、前記各配線又はパターンの電圧を検出する電圧検出手段とを有し、前記各配線又はパターンのオープン不良とショート不良とを検出する検査装置であって、前記電圧印加手段は、互いに隣接し合う配線又はパターン間に異なる電圧を印加し、前記オープン不良又はショート不良があった場合には、前記各配線又はパターンに現れる電圧が、良品であった場合の電圧とは異なる値の電圧になるように構成されたことを特徴とする検査装置。
IPC (4件)：
G01R 31/02
, G01R 31/00
, H05K 3/00
, H05K 13/08
G01R 31/02
, G01R 31/00
, H05K 3/00 T
, H05K 13/08 C
