感放射線性樹脂組成物

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴木俊一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-039926
公開番号（公開出願番号）：特開平7-248625
出願日： 1994年03月10日
公開日（公表日）： 1995年09月26日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】感度、現像性に優れ残膜率に優れるとともに、耐熱性、耐薬品性、基板との密着性、可視光領域における透明性に優れたネガ型レジスト膜を形成しうるような感放射線性樹脂組成物を提供する。【構成】 [A](a-1) 不飽和カルボン酸と、(a-2) 下記一般式[I]で示されるエポキシ基含有ラジカル重合性化合物と、必要に応じて(a-3) 上記の(a-1) 、(a-2) と共重合しうる他のラジカル重合性化合物との共重合体と、[B]エチレン性不飽和二重結合を有する重合性化合物と、[C]光重合開始剤とを含有する。(式中、R1〜R3は、それぞれ独立に水素原子または炭素原子数1〜10のアルキル基であり、mは1〜5の整数である。)

請求項（抜粋）：

[A](a-1) 不飽和カルボン酸と、(a-2) 下記の一般式[I]で示されるエポキシ基含有ラジカル重合性化合物と、【化1】必要に応じて(a-3) 上記の(a-1) 、(a-2) と共重合しうる他のラジカル重合性化合物との共重合体と、[B]エチレン性不飽和二重結合を有する重合性化合物と、[C]光重合開始剤とからなることを特徴とする感放射線性樹脂組成物。

IPC (3件)：

G03F 7/032 501 , G03F 7/027 501 , H01L 21/027

引用特許：

出願人引用 (7件)

耐熱性感放射線性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-198741 出願人：日本合成ゴム株式会社
特開昭64-009207
特開昭60-129741

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審査官引用 (7件)

耐熱性感放射線性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-198741 出願人：日本合成ゴム株式会社
特開昭64-009207
特開昭60-129741

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