特許

J-GLOBAL ID：200903086925973324

走査型トンネル顕微鏡およびそれによる試料表面の原子分析方法

発明者： 嘉数 誠 ,  小林 直樹
出願人/特許権者： 日本電信電話株式会社
代理人 (1件)： 中村 純之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-046472
公開番号（公開出願番号）：特開平6-258015
出願日： 1993年03月08日
公開日（公表日）： 1994年09月16日
要約：

【要約】【目的】試料表面に存在する原子の実像を観察すると共に、それらの原子の種類を分析でき、さらに、絶縁性試料表面の観察をも可能にする走査型トンネル顕微鏡、およびそれによる原子分析方法の実現。【構成】試料表面2を走査する探針4を光に対して透明な光ファイバで作製し、かつ該探針4の表面をタングステン被膜5で覆い、該探針4を通して試料表面2に光6を照射しながら原子像の観察を行う。

請求項（抜粋）：

試料表面の原子像観察を可能にする走査型トンネル顕微鏡において、上記試料表面を走査する探針を光に対して透明な材料で作製し、該探針表面を導電性被膜で覆い、特に、該探針先端部の導電性被膜を光が透過可能なように薄膜化したことを特徴とする走査型トンネル顕微鏡。

IPC (3件)：

G01B 7/34 ,  G01N 21/66 ,  H01J 37/28

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平4-048542
  
• 特開昭52-152146
  
• 特開昭63-121740
  
• 特開昭64-003502