特許

J-GLOBAL ID：200903086932909119

X線3次元加工装置

発明者： 高橋 進一
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-048675
公開番号（公開出願番号）：特開平9-239579
出願日： 1996年03月06日
公開日（公表日）： 1997年09月16日
要約：

【要約】【課題】 数μm以下の精度での3次元微細加工を可能とし、しかも被加工物の材質に依らず加工時間を短縮することができる3次元微細加工装置を提供すること。【解決手段】 少なくとも、X線発生機構8、9、10と、該X線発生機構からのX線を集光して被加工物3に照射するX線照射光学系11と、前記被加工物3を保持する保持機構4と、該保持機構4を変位駆動させる駆動機構12、13と、前記X線発生機構にX線出射のON/OFF制御信号を、また前記駆動機構に変位駆動信号をそれぞれ出力する制御機構6と、を備えた、X線により被加工物の3次元加工を行うX線3次元加工装置。

請求項（抜粋）：

少なくとも、X線発生機構と、該X線発生機構からのX線を集光して被加工物に照射するX線照射光学系と、前記被加工物を保持する保持機構と、該保持機構を変位駆動させる駆動機構と、前記X線発生機構にX線出射のON/OFF制御信号を、また前記駆動機構に変位駆動信号をそれぞれ出力する制御機構と、を備えた、X線により被加工物の3次元加工を行うX線3次元加工装置。

IPC (4件)：

B23K 26/06 ,  B23K 26/00 ,  G21K 5/02 ,  H05G 2/00

FI (4件)：

B23K 26/06 Z ,  B23K 26/00 Z ,  G21K 5/02 X ,  H05G 1/00 K