特許
J-GLOBAL ID：200903086933369746
変位センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
奈良 武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-208897
公開番号（公開出願番号）：特開平7-043114
出願日： 1993年07月30日
公開日（公表日）： 1995年02月10日
要約：
【要約】【目的】 極めて簡易な構成でありながら、多自由度の変位量の絶対値を単一のセンサモジュールにて、非接触で高精度に検出することのできる変位センサを提供することを目的とする。【構成】 光ビーム2,3を発生する光源1と、前記光ビーム2,3の入射位置に応じた信号を出力する受光手段4と、前記受光手段4の出力から同受光手段4と前記光源1との変位を求める演算手段5とから構成される。
請求項（抜粋）：
光ビームを発生する光源と、前記光ビームの入射位置に応じた信号を出力する受光手段と、前記受光手段の出力から同受光手段と前記光源との変位を求める演算手段とからなることを特徴とする変位センサ。
引用特許：
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