特許

J-GLOBAL ID：200903086938290765

圧電アクチュエータ

発明者： 松田 伸也 ,  松尾 隆
出願人/特許権者： ミノルタ株式会社
代理人 (1件)： 小谷 悦司 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-312419
公開番号（公開出願番号）：特開2000-139086
出願日： 1998年11月02日
公開日（公表日）： 2000年05月16日
要約：

【要約】【課題】 例えば2つの圧電素子を互いに直交するように配置し、各圧電素子を互いに位相差を有する交流信号で駆動して、圧電素子の交差部に設けられたチップ部材が楕円軌跡を描くように駆動する圧電アクチュエータにおいて、一方の圧電素子を変位させる際、他方の圧電素子からの反力をほとんど受けることはなく、チップ部材が理想に近い所定の軌跡を描くように駆動する。【解決手段】 チップ部材20及びベース部材30の第1及び第2圧電素子10,10'と接合する部分に凹部23,23',33,33'を形成し、各凹部23,23',33,33'のほぼ中央で、かつ第1及び第2圧電素子10,10'が交差する面に直交する方向に、上記突起21,21',31,31'を形成する。凹部23,23',33,33'に接着剤を充填し、第1及び第2圧電素子10,10'の接合面を突起21,21',31,31'の先端と接触させた状態で接着する。

請求項（抜粋）：

複数の圧電素子を互いに所定角度で交差するように配置し、各圧電素子を互いに位相差を有する複数の駆動信号により駆動し、各圧電素子の交差部分に設けられた駆動部材に所定の運動を生じさせるものであって、各圧電素子と駆動部材及び各圧電素子を保持する保持部材とを剛性の異なる複数の部材を組み合わせて接合したことを特徴とする圧電アクチュエータ。