特許
J-GLOBAL ID：200903086938796618
弾性表面波フィルタ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
岩橋 文雄
, 坂口 智康
, 内藤 浩樹
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2001009303
公開番号（公開出願番号）：WO2002-035702
出願日： 2001年10月23日
公開日（公表日）： 2002年05月02日
要約：
基板と基板上に形成された電極とを有する弾性表面波(SAW)フィルタにおいて、電極は下地層と、AlもしくはAlを主体とする金属からなりかつ基板に対して一定方向に配向した第1の金属層と、第1の金属層のAl原子が基板に対して垂直方向へマイグレーションすることを抑制する第2の層と、膜厚調整のための第3の層とを有する。これにより任意の膜厚を有するSAWフィルタにおいて、粒界拡散の起こりにくい膜質と対応力性に効果的な膜の粒径の微細化を同時に達成される。したがってそのSAWフィルタでは、SAWの伝播に伴い電極に負荷される応力による、電極のAl原子のマイグレーションが阻止され、したがってそのフィルタは耐電力性に優れる。
請求項（抜粋）：
基板と、
前記基板上に設けられ、前記基板に対して一定方向に配向した配向膜で膜厚が200nm以下の第1の層を有する電極と
を備えた弾性表面波(SAW)フィルタ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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