特許

J-GLOBAL ID：200903086939145068

銀薄膜用エッチング液、そのエッチング液を用いた銀薄膜のエッチング方法及びパターン形成方法

発明者： 青木 清美 ,  鈴木 哲雄
出願人/特許権者： 株式会社神戸製鋼所
代理人 (2件)： 梶 良之 ,  須原 誠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-027205
公開番号（公開出願番号）：特開2004-238656
出願日： 2003年02月04日
公開日（公表日）： 2004年08月26日
要約：

【課題】リン酸や硫酸のような無機酸に酸化剤を加えたエッチング液であっても、エッチング速度を任意に制御し得る銀薄膜用エッチング液を提供する。【解決手段】リン酸、硫酸及び硝酸からなる群から選ばれた1種又は2種以上の無機酸と、標準電極電位+0.75V以上の電極反応に該当する化学種を1種又は2種以上含有する酸化剤とを含み、更に分子内に酸素原子、硫黄原子、リン原子、窒素原子のいずれか、又はこれらの組み合わせをもつ界面活性剤が0.01〜10質量%含まれる水溶液からなる。【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

リン酸、硫酸及び硝酸からなる群から選ばれた1種又は2種以上の無機酸と、標準電極電位+0.75V以上の電極反応に該当する化学種を1種又は2種以上含有する酸化剤とを含み、更に分子内に酸素原子、硫黄原子、リン原子、窒素原子のいずれか、又はこれらの組み合わせをもつ界面活性剤が0.01〜10質量%含まれる水溶液からなる銀薄膜用エッチング液。

IPC (3件)：

C23F1/30 ,  H01L21/308 ,  H05K3/06

FI (3件)：

C23F1/30 ,  H01L21/308 F ,  H05K3/06 M

Fターム (25件)：

4K057WA10 ,  4K057WB01 ,  4K057WC08 ,  4K057WE01 ,  4K057WE02 ,  4K057WE03 ,  4K057WE04 ,  4K057WE05 ,  4K057WE11 ,  4K057WE25 ,  4K057WE30 ,  4K057WF06 ,  4K057WG01 ,  4K057WG10 ,  4K057WN01 ,  4K057WN02 ,  4K057WN10 ,  5E339AB02 ,  5E339AB06 ,  5E339BC01 ,  5E339BE13 ,  5E339BE17 ,  5F043AA26 ,  5F043BB18 ,  5F043GG02