特許

J-GLOBAL ID：200903086939554421

感光性ポリイミド用現像液

発明者： 腰山 雅巳 ,  伊藤 健一 ,  田中 明 ,  石月 義克 ,  米田 泰博 ,  横内 貴志男
出願人/特許権者： 日本ゼオン株式会社 ,  富士通株式会社
代理人 (1件)： 西川 繁明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-297625
公開番号（公開出願番号）：特開平10-123725
出願日： 1996年10月18日
公開日（公表日）： 1998年05月15日
要約：

【要約】【課題】 現像状態が良好で、クラックの発生や膨潤のない良好なパターンを与えることができる感光性ポリイミド用現像液を提供すること。【請求項1】 下式(1)【化1】〔R1及びR2は、それぞれ独立して、水素原子または炭素原子数1〜4の分岐していてもよいアルキル基である。nは、0、1または2である。mは、0または1である。〕で表される化合構造を有する有機溶媒70〜98重量%、双極性非プロトン性極性溶媒1〜28重量%、及び水0.5〜4重量%を含有することを特徴とする感光性ポリイミド用現像液。

請求項（抜粋）：

下式(1)【化1】〔R1及びR2は、それぞれ独立して、水素原子または炭素原子数1〜4の分岐していてもよいアルキル基である。nは、0、1または2である。mは、0または1である。〕で表される化学構造を有する有機溶媒70〜98重量%、双極性非プロトン性極性溶媒1〜28重量%、及び水0.5〜4重量%を含有することを特徴とする感光性ポリイミド用現像液。

IPC (3件)：

G03F 7/32 ,  C09K 3/00 ,  G03F 7/038 504

FI (3件)：

G03F 7/32 ,  C09K 3/00 T ,  G03F 7/038 504