特許

J-GLOBAL ID：200903086943667192

原子間力顕微鏡

発明者： 松田 宏 ,  森川 有子 ,  武田 俊彦
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 豊田 善雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-168325
公開番号（公開出願番号）：特開平7-005181
出願日： 1993年06月16日
公開日（公表日）： 1995年01月10日
要約：

【要約】【目的】 カンチレバーの特定の位置の動きを精度良く検出し得る光てこ方式の原子間顕微鏡を提供する。【構成】 探針103を有するカンチレバー102に入射される検出光203の入射角が、カンチレバー反射面109でのp偏光成分の反射損失が略最大となるように設定され、カンチレバー先端部に上記入射角におけるp偏光成分の反射率がカンチレバー反射面よりも大きな反射板204を有し、カンチレバー反射面に入射される検出光をp偏光光線とするための偏光板202を有する原子間力顕微鏡。

請求項（抜粋）：

先鋭な探針を有するカンチレバー部と、係る探針と試料表面との間の距離を制御する手段と、係る探針を試料表面上で相対的に2次元走査させる手段と、係る探針と試料表面との間に発生する原子間力により生ずる探針の上下動に伴うカンチレバーの曲がりの変化を検出するために、係るカンチレバーに入射される検出光のカンチレバー反射面上での反射角の変化を検出する光検出器を有する、光てこ方式の原子間力顕微鏡において、前記カンチレバー反射面への検出光入射角が、該カンチレバー反射面でのp偏光成分の反射損失が略最大となるように設定されており、また、前記カンチレバー反射面上での前記探針の動きに対して感度良く連動することができる位置に、上記のように設定された検出光入射角におけるp偏光成分の反射率がカンチレバー反射面よりも大きな反射板を有し、さらに、前記カンチレバー反射面で反射され前記光検出器に入射される検出光が、p偏光成分であることを特徴とする原子間力顕微鏡。

IPC (2件)：

G01N 37/00 ,  G01B 21/30