特許
J-GLOBAL ID：200903086949837022
表面検査方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-111170
公開番号（公開出願番号）：特開平5-307007
出願日： 1992年04月30日
公開日（公表日）： 1993年11月19日
要約：
【要約】【目的】 被検査物の表面が、微細な凹凸を有するものであっても、検出対象である傷やクラックなどを確実に検出することのできる検査方法を提供する。【構成】 被検査物10の表面をカメラ30などの撮像手段で撮影し、得られた画像から被検査物10の表面状態を検査する方法において、被検査物10の表面を、積分球40のような拡散反射性を有する球内面で反射された光で照明することにより、被検査物10の表面に様々な方向からの光を一様に照射して、微細な凹凸の全面で一様な反射を生じさせ、クラックなどの検査対象と微細な凹凸の違いが、画像上で明確に表れるようにする。
請求項（抜粋）：
被検査物の表面を撮像手段で撮影し、得られた画像から被検査物の表面状態を検査する方法において、被検査物の表面を、拡散反射性を有する球内面で反射された光で照明することを特徴とする表面検査方法。
IPC (2件)：
引用特許：
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