表面弾性波素子

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小鍜治明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-071586
公開番号（公開出願番号）：特開平6-326553
出願日： 1994年03月15日
公開日（公表日）： 1994年11月25日
要約：

【要約】【目的】電気機械結合係数、音速、温度依存性の組合わせの自由度が大きく、とくに電気機械結合係数が大きく温度依存性の小さい表面弾性波素子を提供することを目的とする。【構成】圧電特性の異なる複数の単結晶圧電基板または単結晶圧電基板と非圧電基板を、それぞれの基板表面を、平坦化、鏡面化、清浄化、親水化して、重ね合わせ熱処理により直接接合するか、少なくとも一方の基板表面に、無機薄膜層を形成してのち、同様の処理により直接接合して積層し、一方の圧電基板の厚み、および無機薄膜層の厚みを、使用する音波の波長に適した厚みとし、前記圧電基板に表面波励振用櫛形電極を設けるようにしたものである。

請求項（抜粋）：

複数の単結晶圧電基板からなり、前記単結晶圧電基板同士が、それぞれの基板表面を平坦化、鏡面化、清浄化、親水化処理して、重ね合わせ熱処理することにより直接接合されて積層されており、前記単結晶圧電基板に表面弾性波を励振するための櫛形電極を設けたことを特徴とする表面弾性波素子。

IPC (3件)：

H03H 9/25 , H03H 3/08 , H03H 9/145

引用特許：

審査官引用 (11件)

特開昭61-092021
特開平4-283957
特開昭62-122148

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