特許

J-GLOBAL ID：200903086953527755

表面欠陥検査装置

発明者： 今西 正則 ,  鈴木 裕 ,  辻 正文
出願人/特許権者： 日産自動車株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-165485
公開番号（公開出願番号）：特開平10-009835
出願日： 1996年06月26日
公開日（公表日）： 1998年01月16日
要約：

【要約】【課題】 表面欠陥検査装置の検査精度の向上を図ること。【解決手段】 被検査面100に明暗パターンを形成する照明手段101と、被検査面100を撮像する撮像手段102と、撮像手段102で得られた画像データにおける周波数成分のうち高い周波数領域で、かつレベルが所定値以上の成分のみを欠陥候補領域として抽出する画像処理手段103と、欠陥候補領域の各々の面積を算出し、所定の条件を満たす面積の欠陥候補領域のみを膨張処理するか、もしくは膨張、収縮の順で処理する膨張/収縮処理手段104と、膨張/収縮処理後の欠陥候補領域の面積を算出し、その面積に基づいて欠陥候補領域が欠陥か否かを判定する欠陥判定手段105とを設けた。

請求項（抜粋）：

被検査面に光を照射し、その被検査面からの反射光に基づいて受光画像を作成し、この受光画像に基づいて被検査面上の欠陥を検出する表面欠陥検査装置において、前記被検査物体表面に所定の明暗パターンを形成する照明手段と、上記被検査面を撮像して得られる受光画像を電気信号の画像データに変換する撮像手段と、上記画像データにおける周波数成分のうち高い周波数領域で、かつレベルが所定値以上の成分のみを欠陥候補領域として抽出する画像処理手段と、上記欠陥候補領域の各々の面積を算出し、所定の条件を満たす面積の欠陥候補領域のみを膨張処理するか、もしくは膨張、収縮の順で処理する膨張/収縮処理手段と、上記膨張/収縮処理後の欠陥候補領域の面積を算出し、その面積に基づいて欠陥候補領域が欠陥か否かを判定する欠陥判定手段と、を備えたことを特徴とする表面欠陥検査装置。

IPC (4件)：

G01B 11/30 ,  G01J 1/04 ,  G01N 21/88 ,  G06T 7/00

FI (4件)：

G01B 11/30 A ,  G01J 1/04 H ,  G01N 21/88 J ,  G06F 15/62 400