特許
J-GLOBAL ID：200903086956602847
ステージ測長装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-202909
公開番号（公開出願番号）：特開平5-045152
出願日： 1991年08月13日
公開日（公表日）： 1993年02月23日
要約：
【要約】【目的】 本発明はステージ測長装置に関し、測長器の測長区間を越えるステージの長距離移動時にも、測長を行いつつ、高速、かつ、正確な位置測定を行うステージ測長装置を提供することを目的としている。【構成】 所定の物体を所定位置に搬送するステージと、該ステージの第1の移動方向におけるステージ位置を測長する第1測長手段と、該第1の移動方向に対して垂直方向におけるステージ位置を測長する第2測長手段とを備えるステージ測長装置であって、前記第2測長手段は所定の測長区間を有する複数の測長器を有し、該複数の測長器はそれぞれ隣合う測長器の測長区間と所定範囲の重なる区間を有するように配設され、該測長区間の重なる区間に前記ステージの移動により該ステージが達した場合、今までステージ位置の測長を行っていた第1測長器の測長値を、新たにステージ位置を測長可能となった第2測長器に設定するように構成する。
請求項（抜粋）：
所定の物体を載置するとともに、該物体を所定位置に搬送するステージと、該ステージの第1の移動方向におけるステージ位置を測長する第1測長手段と、該第1の移動方向に対して垂直方向におけるステージ位置を測長する第2測長手段とを備え、前記第1測長手段、及び第2測長手段の測長により前記ステージ位置を2次元的に測長するステージ測長装置であって、前記第2測長手段は所定の測長区間を有する複数の測長器を有し、該複数の測長器はそれぞれ隣合う測長器の測長区間と所定範囲の重なる区間を有するように配設され、該測長区間の重なる区間に前記ステージの移動により該ステージが達した場合、今までステージ位置の測長を行っていた第1測長器の測長値を、新たにステージ位置を測長可能となった第2測長器に設定することを特徴とするステージ測長装置。
IPC (3件)：
G01B 21/00
, G05D 3/12
, H01L 21/027
