特許
J-GLOBAL ID：200903086961591381
フローセンサ及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 正武 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-179982
公開番号（公開出願番号）：特開平5-079876
出願日： 1991年07月19日
公開日（公表日）： 1993年03月30日
要約：
【要約】【目的】 基板表面に形成され周囲から熱的に絶縁された領域にヒータ及び感温抵抗体等の回路導体が配置されてなる橋架構造のフローセンサにおいて、生産性を高く確保しつつ、検出精度及び特性の安定性を向上させるとともに、機械的強度を向上させる。【構成】 基板の裏面側から加工することにより、ヒータ及び感温抵抗体等の回路導体が形成された領域の裏側の位置の基板を部分的に取除き、これによって、前記領域が周囲から熱的に絶縁された構造とする。
請求項（抜粋）：
基板と、該基板の表面に形成された絶縁層と、該絶縁層の表面に形成された流量検出回路導体とよりなり、前記基板において前記流量検出回路導体の裏側に位置する部分が取除かれていることを特徴とするフローセンサ。
IPC (2件)：
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