特許
J-GLOBAL ID：200903086966571770
軟磁性合金薄膜およびその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
穂上 照忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-067332
公開番号（公開出願番号）：特開平5-271885
出願日： 1992年03月25日
公開日（公表日）： 1993年10月19日
要約：
【要約】【目的】高い飽和磁束密度および透磁率を示す、しかも低価格のFe基軟磁性合金薄膜およびその製造方法を提供する。【構成】一般式、Fe<SB>100-x-y-z </SB>Cu<SB>x </SB>P<SB>y </SB>C<SB>z </SB>で表され、平均粒径が 500Å以下の微細な結晶粒と非晶質相との混合組織であるFe基軟磁性合金薄膜およびその製造方法。ただし、上記一般式のx、yおよびzは原子%で、0.1≦x≦3、1 ≦y≦23、 0.1≦z≦15、5≦y+z<10 である。上記の一般式で表される組成中のFeは、一定条件の基で、その一部をMo、Zr、Nb、W、Cr、Ti、V、Si、Ge、Ga、RuおよびAlで置換することができる。【効果】本発明によるFe基軟磁性合金薄膜は、飽和磁束密度が高く、かつ高透磁率である。この薄膜は、結晶相を含むので熱的安定性にも優れ、さらに、高価な元素を必須成分としておらず、経済性にも優れている。
請求項（抜粋）：
一般式、Fe<SB>100-x-y-z </SB>Cu<SB>x </SB>P<SB>y </SB>C<SB>z </SB>で表される組成を有し、平均粒径が 500Å以下の微細な結晶粒と非晶質相との混合組織であることを特徴とする軟磁性合金薄膜。ただし、x、yおよびzは原子%で、0.1≦x≦3、1 ≦y≦23、 0.1≦z≦15、5≦y+z<10 である。
IPC (3件)：
C22C 45/02
, C23C 14/06
, H01F 10/14
