特許
J-GLOBAL ID:200903086968208613

凹凸表面を有する物品

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 伊藤 俊哉
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-260181
公開番号(公開出願番号):特開2006-082549
出願日: 2005年09月08日
公開日(公表日): 2006年03月30日
要約:
【課題】 耐熱性が高く、一層膜において数十〜数千μmの厚い層であってもその表面にクラックが発生せずかつ基板と剥離しない寸法精度の高い微細凹凸表面を有する物品を提供する。【解決手段】 凹凸表面を有する物品において、凹凸は基材上に付着させた厚さ1μm〜1mmのオルガノポリシロキサン膜の表面に形成されており、この膜中に炭素数1〜3のアルキル基および炭素数6〜13のアリール基がそれぞれ5〜25重量%および5〜40重量%含まれる。膜の表面上に必要に応じて金属膜または誘電体膜を形成する。【選択図】 図4
請求項(抜粋):
凹凸表面を有する物品において、前記凹凸は基材上に付着させた厚さ1μm〜1mmのオルガノポリシロキサン膜の表面に形成され、前記膜中に炭素数1〜3のアルキル基および炭素数6〜13のアリール基がそれぞれ5〜25重量%および5〜40重量%含まれることを特徴とする凹凸表面を有する物品。
IPC (8件):
B32B 27/00 ,  C03B 8/02 ,  C03C 17/30 ,  C03C 17/42 ,  C03C 17/38 ,  G02B 3/00 ,  G11B 7/257 ,  G11B 7/254
FI (9件):
B32B27/00 101 ,  C03B8/02 A ,  C03B8/02 K ,  C03C17/30 A ,  C03C17/42 ,  C03C17/38 ,  G02B3/00 A ,  G11B7/24 538S ,  G11B7/24 534G
Fターム (27件):
4F100AB01C ,  4F100AG00 ,  4F100AK52B ,  4F100AT00A ,  4F100BA03 ,  4F100BA07 ,  4F100BA10A ,  4F100BA10C ,  4F100DD01B ,  4F100GB41 ,  4F100JJ03 ,  4F100JM02C ,  4F100YY00B ,  4G014AH01 ,  4G014AH04 ,  4G059AA09 ,  4G059AA11 ,  4G059AB09 ,  4G059AC01 ,  4G059FA22 ,  4G059FB06 ,  4G059GA01 ,  4G059GA05 ,  4G059GA15 ,  4G059GA16 ,  5D029LA11 ,  5D029MA35
引用特許:
出願人引用 (3件) 審査官引用 (2件)

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