直進移動装置およびステージ移動装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松阪正弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-320887
公開番号（公開出願番号）：特開2005-090983
出願日： 2003年09月12日
公開日（公表日）： 2005年04月07日
要約：

【課題】装置の製作コストの増大を抑制しつつステージおよび描画ヘッドの移動に伴い発生する描画位置の誤差を補正するための各種データを精度良く求める。【解決手段】ステージ移動装置1は、基板9が載置されるステージ2、ステージ2を移動するステージ移動機構22、ステージ2を撮像するカメラ41、カメラ41をステージ2の移動方向と略直交する方向へと移動するヘッド移動機構42、並びに、ステージ2およびカメラ41の移動量等を計測する計測部6を備える。ステージ移動装置1では、ステージ2のステージ軸上の位置、ステージ軸に対するヨーイング、および、カメラ軸上のカメラ41の位置を計測し、さらに直交マスタパターン板を撮像し、これらのデータに基づいてステージ2の真直度、カメラ41のヨーイングの影響を反映した複合的ずれ量、および、ステージ軸とカメラ軸とのなす角度を求めることができる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

移動体を直線的に移動する直進移動装置であって、移動体と、前記移動体を所定の移動軸にほぼ沿って直線的に移動する移動機構と、前記移動体の前記移動軸上の位置を計測する位置計測部と、前記移動軸に平行な所定の面内における前記移動体の前記移動軸に対するヨーイングを計測するヨーイング計測部と、前記ヨーイング計測部により計測される前記移動体のヨーイングに基づいて前記ヨーイングに起因する単位移動距離当たりの前記移動体の前記移動軸からのずれ量を積分することにより、前記移動体の前記移動軸上の位置と前記所定の面内における前記移動軸からの前記移動体のずれ量との関係を示す真直度を求める演算部と、を備えることを特徴とする直進移動装置。

IPC (4件)：

G01B21/00 , G01B11/26 , H01L21/027 , H01L21/68

FI (4件)：

G01B21/00 , G01B11/26 H , H01L21/68 K , H01L21/30 503A

Fターム (59件)：

2F065AA02 , 2F065AA03 , 2F065AA06 , 2F065AA37 , 2F065AA47 , 2F065BB01 , 2F065BB05 , 2F065BB15 , 2F065BB25 , 2F065BB27 , 2F065CC17 , 2F065CC25 , 2F065EE12 , 2F065FF04 , 2F065FF55 , 2F065FF61 , 2F065GG04 , 2F065HH04 , 2F065JJ03 , 2F065JJ26 , 2F065LL12 , 2F065LL17 , 2F065LL46 , 2F065PP03 , 2F065PP12 , 2F065QQ13 , 2F065QQ18 , 2F065QQ24 , 2F065QQ25 , 2F069AA02 , 2F069AA55 , 2F069AA71 , 2F069CC06 , 2F069EE12 , 2F069GG07 , 2F069GG75 , 2F069JJ13 , 2F069NN06 , 2F069PP08 , 5F031CA05 , 5F031HA53 , 5F031JA04 , 5F031JA05 , 5F031JA13 , 5F031JA17 , 5F031JA28 , 5F031JA30 , 5F031JA32 , 5F031JA37 , 5F031JA38 , 5F031KA06 , 5F031KA07 , 5F031LA08 , 5F031MA27 , 5F046CC03 , 5F046CC05 , 5F046CC11 , 5F046CC16 , 5F046DB04

引用特許：

出願人引用 (1件)

ビーム処理装置における調整方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-146350 出願人：日本電子株式会社

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