特許

J-GLOBAL ID：200903086973598225

気体放電表示パネルにおける電極の形成方法

発明者： 来間 泰則
出願人/特許権者： 大日本印刷株式会社
代理人 (1件)： 土井 育郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-250261
公開番号（公開出願番号）：特開平8-115656
出願日： 1994年10月17日
公開日（公表日）： 1996年05月07日
要約：

【要約】【目的】 抵抗付気体放電表示パネルの基板に配置された電極の母線と端子を接続する抵抗素子の有効寸法の精度を向上させるため、位置関係および寸法精度の良い電極を形成する。【構成】 基板2上前面に導電性ペーストを厚膜で塗布して導電性膜22を形成し、その上に感光性樹脂23の層を形成してから、この感光性樹脂23を電極パターンを配置した遮光マスク24を介して露光し、現像した後、パターニングされた感光性樹脂23をマスクとして導電性膜22を化学的にエッチングし、パターニングされた感光性樹脂23を剥離する。高精細な電極加工が可能となる。電極加工の精度は直接抵抗素子の有効寸法に係わるため、抵抗値のバラツキを抑えることができる。

請求項（抜粋）：

複数の陰極群と複数の陽極群とが互いに直交するように前面板と背面板の対向する各板面上に形成され、前記陰極群および前記陽極群、あるいはそのどちらか一方が母線および端子から構成され、この母線と端子が抵抗素子を介して電気的に接続されたタイプの気体放電表示パネルにおける前記陽極群および/または陰極群を形成する方法であって、(1)基板上に導電性ペーストを厚膜で塗布した後、該導電性ペーストの乾燥および焼成を行って基板上に導電性膜を形成する第1工程(2)前記導電性膜の上に感光性樹脂の層を形成する第2工程(3)前記感光性樹脂の層を電極パターンを配置した遮光マスクを介して露光した後、該感光性樹脂の層のパターン現像を行う第3工程(4)パターニングされた前記感光性樹脂をマスクとして前記導電性膜を化学的にエッチングする第4工程(5)パターニングされた前記感光性樹脂を剥離する第5工程の各工程を少なくとも含むことを特徴とする気体放電表示パネルにおける電極の形成方法。