特許
J-GLOBAL ID：200903086976234941
磁性多層膜
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-279374
公開番号（公開出願番号）：特開平7-135111
出願日： 1993年11月09日
公開日（公表日）： 1995年05月23日
要約：
【要約】【目的】 磁気ヘッド磁極形状で安定した磁区構造を有し、その最適層構成が200nm程度の厚さで優れた軟磁気特性を有する磁性多層膜を提供する。【構成】 基板4上に形成されており、1軸磁気異方性を有する磁性層1と、厚さがそれぞれ異なる非磁性層2,3とから成り、非磁性層2よりも非磁性層3が厚く、磁性層1/非磁性層2/磁性層1からなる積層体と非磁性層3とが交互に積層された構造を有する磁性多層膜であって、磁性層1の厚さが20nm以上100nm以下であり、かつ非磁性層2,3厚さが5nm以上20nm以下となるように構成する。また、磁性層1が複数の強磁性体の繰り返しによる周期構造を有する軟磁性膜を用いてもよい。これにより、垂直磁気記録用の単磁極型ヘッドの主磁極膜やヨーク型MRヘッドのヨーク部などに用いられる磁性多層膜を得られる。
請求項（抜粋）：
1軸磁気異方性を有する軟磁性膜である第1の層と、非磁性膜であり厚さがそれぞれ異る第2の層および第3の層とから構成され、前記第3の層が前記第2の層よりも厚く、前記第1の層/第2の層/第1の層からなる積層体と第3の層とが交互に積層された構造を有する磁性多層膜において、前記第1の層の厚さが20以上100nm以下であり、かつ前記第2の層および第3の層の厚さが5nm以上20nm以下であることを特徴とする磁性多層膜。
IPC (6件)：
H01F 10/08
, G11B 5/02
, G11B 5/147
, G11B 5/31
, G11B 5/39
, H01F 10/26
