特許
J-GLOBAL ID：200903086981362800
静電チャックおよび静電チャックを備えたロボット装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-295243
公開番号（公開出願番号）：特開平8-153766
出願日： 1994年11月29日
公開日（公表日）： 1996年06月11日
要約：
【要約】【目的】この発明はワークの外周部に作用する吸着力を強くして、ワークとチャック本体との間に供給される伝熱用のガスが漏れずらくした静電チャックを提供することにある。【構成】 ワークを静電力によって吸着する静電チャックにおいて、絶縁材からなるチャック本体11と、このチャック本体に複数に分割して設けられた電極15〜18と、複数に分割された電極のうち少なくとも上記チャック本体の外周部に設けられた電極に内周部に設けられた電極よりも高電圧を印加する直流電源22とを具備したことを特徴とする静電チャック。
請求項（抜粋）：
ワークを静電力によって吸着する静電チャックにおいて、絶縁材からなるチャック本体と、このチャック本体に複数に分割して設けられた電極と、複数に分割された電極のうち少なくとも上記チャック本体の外周部に設けられた電極に内周部に設けられた電極よりも高電圧を印加する電圧印加手段とを具備したことを特徴とする静電チャック。
IPC (2件)：
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