特許
J-GLOBAL ID:200903086987689550

シート材加熱処理装置及び後露光装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 中島 淳 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-228669
公開番号(公開出願番号):特開2001-051428
出願日: 1999年08月12日
公開日(公表日): 2001年02月23日
要約:
【要約】【課題】 加熱源の能力を変更することなく、かつ処理ステージを分割することなく、処理されるシート材に過加熱による反り等を発生させず、適性な加熱処理を実行する。【解決手段】 加熱源14から搬送経路までの距離と受熱量との関係は、距離が短いほど受熱量が大きいことがわかる。従って、加熱処理ステージ10の中央付近が最も雰囲気温度が高く、挿入側及び排出側が最も温度が低くなる。すなわち、挿入位置から所定範囲は予熱領域として適用でき、中央付近を実加熱領域として適用でき、さらに、この排出位置から所定範囲が除熱領域として適用できる。このような温度分布とすることにより、シート材は、急に高い温度で処理されず、徐々に暖められ、徐々に冷やされるため、反り等の発生を防止することができる。
請求項(抜粋):
シート材を加熱源からの熱により加熱処理するシート材加熱処理装置であって、前記シート材を前記加熱源からの熱を受ける加熱ステージへ送り込む挿入案内ローラと、前記加熱ステージ内で前記シート材を支持すると共に自身の回転で水平搬送する搬送支持ローラと、前記シート材を前記加熱ステージから排出するための排出案内ローラ対と、を有し、前記加熱ステージ内で前記シート材が受ける前記加熱源からの熱量を前記搬送路中間部で多く、シート材挿入側及び排出側へ行くに従い少なくなるように前記加熱源を配置した、ことを特徴とするシート材加熱処理装置。
IPC (4件):
G03F 7/40 501 ,  G03F 7/40 ,  B41J 29/00 ,  F26B 13/10
FI (4件):
G03F 7/40 501 ,  G03F 7/40 ,  F26B 13/10 A ,  B41J 29/00 H
Fターム (31件):
2C061CK01 ,  2C061CK07 ,  2H096AA06 ,  2H096BA05 ,  2H096HA01 ,  2H096HA03 ,  3L113AA02 ,  3L113AB06 ,  3L113AC08 ,  3L113AC10 ,  3L113AC21 ,  3L113AC30 ,  3L113AC31 ,  3L113AC42 ,  3L113AC45 ,  3L113AC46 ,  3L113AC48 ,  3L113AC49 ,  3L113AC53 ,  3L113AC54 ,  3L113AC63 ,  3L113AC65 ,  3L113AC76 ,  3L113AC79 ,  3L113BA26 ,  3L113CA04 ,  3L113DA07 ,  3L113DA11 ,  3L113DA15 ,  3L113DA22 ,  3L113DA24

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