マイクロ波プラズマ装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：千田稔 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-340117
公開番号（公開出願番号）：特開2001-149772
出願日： 1999年11月30日
公開日（公表日）： 2001年06月05日
要約：

【要約】【課題】揮発性有機物質を経済的かつ効率よく処理することができるマイクロ波プラズマ装置を提供する。【解決手段】揮発性有機物質を含む排ガスをマイクロ波プラズマ装置10に導入し、揮発性有機物質をプラズマ16および光触媒物質層20により分解することにより揮発性有機物質を含む排ガスを効率的に処理する。

請求項（抜粋）：

プラズマが生成される反応容器を有し、前記反応容器に導入される排ガス中の揮発性有機物質を処理するマイクロ波プラズマ装置であって、前記反応容器内面に光触媒物質が存在することを特徴とするマイクロ波プラズマ装置。

IPC (2件)：

B01J 19/08 , H05H 1/46

FI (2件)：

B01J 19/08 E , H05H 1/46 B

Fターム (10件)：

4G075AA03 , 4G075AA37 , 4G075AA43 , 4G075AA62 , 4G075BA06 , 4G075BD14 , 4G075CA26 , 4G075CA47 , 4G075CA54 , 4G075EB41

引用特許：

審査官引用 (4件)

マルチアーク処理方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-336047 出願人：佐藤亮拿
プラズマによる有機ハロゲン化合物の分解方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-321234 出願人：三菱重工業株式会社
ガスから有機物質を除去する方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-330749 出願人：ユナイテッドキングドムアトミックエナヂイオーソリティ

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