特許
J-GLOBAL ID：200903087003913663

圧電振動子の製造方法

発明者：
荒武 潔

荒武 潔 について

, 
白石 政良

白石 政良 について


出願人/特許権者：
セイコーインスツルメンツ株式会社

セイコーインスツルメンツ株式会社 について


代理人 (1件)： 坂上 正明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-038139
公開番号（公開出願番号）：特開2003-243962
出願日： 2002年02月15日
公開日（公表日）： 2003年08月29日
要約：
【要約】【課題】 表面の汚染による接合のムラを回避することや、周波数などの特性の把握が可能で、且つショートによる抵抗値のばらつきによる接合のムラを回避することが可能な電極構造を有する圧電振動子の提供。【解決の手段】 水晶振動子片110と枠状部100からなる複数の振動子20を形成した水晶ウェハ130上に、それぞれの水晶振動子片110上に形成した一対の励振電極膜80、81と、それぞれの枠状部100上に形成され、一対の励振電極膜80、81と接続されたフレーム電極38、39とからなる複数の電極パターン160を形成し、周波数の粗調整を行った後、再度、水晶振動子片110と枠状部100からなる複数の振動子20を形成した水晶ウェハ130上に、それぞれの水晶振動子片110上に形成した一対の励振電極膜80、81と、それぞれの枠状部100上に形成され、一対の励振電極膜80、81と接続された接合膜40、41とからなる、お互いがショートされた複数の電極パターン170を形成し、電圧を印加可能とし、陽極接合を行う。
請求項（抜粋）：
圧電材料からなるウエハ上にフォトリソグラフィーにより振動子の外形形状と前記振動子の周辺に枠を形成し、前記振動子表面に第1の励振電極を形成し、前記枠の表面にフレーム電極を形成し、前記振動子表面に前記第1の励振電極と離間した重りを形成し、前記第1の励振電極と前記フレーム電極を剥離し、前記枠と前記振動子の表面に金属膜を形成し、前記金属膜をパターニングし互いに電気的に接続された第2の励振電極と接合膜を形成する工程とからなる圧電振動子の製造方法。
IPC (5件)：
H03H 9/19 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/22 ,  H03H 3/02
FI (5件)：
H03H 9/19 L ,  H03H 3/02 D ,  H01L 41/22 Z ,  H01L 41/18 101 A ,  H01L 41/08 C
Fターム (8件)：
5J108AA00 ,  5J108BB02 ,  5J108CC06 ,  5J108FF01 ,  5J108HH03 ,  5J108KK02 ,  5J108KK07 ,  5J108MM14
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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