特許

J-GLOBAL ID：200903087006346786

光学薄膜およびその製造方法

発明者： 松成 秀一
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 大垣 孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-307477
公開番号（公開出願番号）：特開平11-142604
出願日： 1997年11月10日
公開日（公表日）： 1999年05月28日
要約：

【要約】【課題】 分光特性および耐環境性に優れた光学薄膜。【解決手段】 金属フッ化物含有膜13上に酸化物からなる保護層15が形成されている。

請求項（抜粋）：

金属フッ化物含有膜上に酸化物からなる保護層が形成されていることを特徴とする光学薄膜。

IPC (4件)：

G02B 1/11 ,  B32B 7/02 103 ,  B32B 9/00 ,  C23C 14/08

FI (4件)：

G02B 1/10 A ,  B32B 7/02 103 ,  B32B 9/00 A ,  C23C 14/08 N