特許

J-GLOBAL ID：200903087007911223

超薄膜積層体

発明者： 福井 治世 ,  中山 明 ,  瀬戸山 誠 ,  吉岡 剛 ,  山縣 一夫
出願人/特許権者： 住友電気工業株式会社
代理人 (1件)： 鎌田 文二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-244178
公開番号（公開出願番号）：特開平7-097679
出願日： 1993年09月30日
公開日（公表日）： 1995年04月11日
要約：

【要約】【目的】 耐摩耗性および表面保護機能向上のため、切削工具、耐摩工具等の硬質基材表面、或いは電気・電子部品、摺動部品、機械部品の表面に形成される超薄膜積層体を提供する。【構成】 Ti、AlおよびNによって構成されるTi<SB>x </SB>Al<SB>1-x </SB>NおよびTi<SB>y </SB>Al<SB>1-y </SB>N(0≦x<0.5、0.5<y≦1)なる2種類の化合物(A、B)を交互に繰り返し積層し、その繰り返しの積層周期λを0.5nm〜20nmとし、全体の膜厚が0.5μm〜10μmとした超薄膜積層体1を、基材2の表面に被覆し、切削工具や耐摩工具の硬質被覆層、又は電気・電子部品、摺動部品、機械部品の表面の耐摩耗膜や保護膜として用いる。

請求項（抜粋）：

Ti、AlおよびNによって構成されるTi<SB>x </SB>Al<SB>1-x </SB>NおよびTi<SB>y </SB>Al<SB>1-y </SB>N(0≦x<0.5、0.5<y≦1)なる2種類の化合物を、交互に繰り返して積層し、積層体の全体組成として化学量論的にアルミニウムリッチになるものとした超薄膜積層体。

IPC (7件)：

C23C 14/06 ,  B23B 27/14 ,  B23P 15/28 ,  B32B 15/01 ,  C22C 29/16 ,  C23C 16/34 ,  C23C 28/04