特許
J-GLOBAL ID：200903087008725296
めつき装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
服部 毅巖
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-248120
公開番号（公開出願番号）：特開平5-086498
出願日： 1991年09月27日
公開日（公表日）： 1993年04月06日
要約：
【要約】【目的】 被めっき材に流れる電流を確実に制御し、めっき厚を精密制御する。【構成】 カセット12には、カソードピン14a,14b,14c と押えばね15a,15b,15c、押えリング16からなる固定手段が設けられている。この固定手段によってICウェハー1の表面のレジスト膜を突き抜いて、カソードピン14a,14b,14c と圧接された状態でICウェハー1が固定される。カセット13は蓋6のカセット挿入溝17a,17b によって保持される。液槽2内の所定位置に保持してめっきを施す以前に、ICウェハーとカソードピンとの接触状態が目視で確認できる。各カソードピンは、めっきが付着しないようにフレキシブルチューブで被覆される。
請求項（抜粋）：
めっき液を収容した液槽内で、被めっき材を電極としてめっき液と接触させて、その表面に突起状めっきを施すめっき装置において、前記被めっき材の導体部分に接触する複数のピンを備え、前記液槽内の所定位置に着脱自在に保持される板状部材と、前記被めっき材の導体部分が前記複数のピンに圧接された状態で、前記被めっき材を前記板状部材に固定する固定手段と、を有することを特徴とするめっき装置。
IPC (5件)：
C25D 17/00
, C25D 5/08
, C25D 7/12
, C25D 17/06
, C25D 17/08
