カラーフィルタ製造装置および方法ならびにカラーフィルタ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊東哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-110600
公開番号（公開出願番号）：特開平9-277571
出願日： 1996年04月08日
公開日（公表日）： 1997年10月28日
要約：

【要約】【課題】大型基板上にR、G、B各色パターンを高精度で描画できるようにし、生産性を向上させる。【解決手段】 R、G、B3色のインクジェットをそれぞれ生じさせる少なくとも1組の描画ヘッドと、前記インクジェットによる描画によってカラーフィルタが形成される基板を搭載するステージとを具備し、前記描画ヘッドを取りつけた描画ヘッドユニットと前記基板とを相対走査して描画することによりカラーフィルタを形成する製造装置において、前記基板を前記ステージに搭載する際、変位検出手段により前記基板上のアライメントマークと前記描画の基準位置とのずれ量を検出してそのずれ量を補正する。

請求項（抜粋）：

R、G、B3色のインクジェットをそれぞれ生じさせる少なくとも1組の描画ヘッドと、前記インクジェットによる描画によってカラーフィルタが形成される基板を搭載するステージとを具備し、前記描画ヘッドを取りつけた描画ヘッドユニットと前記基板とを相対走査して描画することによりカラーフィルタを形成する製造装置において、前記基板を前記ステージに搭載する際、変位検出手段により前記基板上のアライメントマークと前記描画の基準位置とのずれ量を検出する検出手段と、検出されたずれ量を補正する補正手段とを有することを特徴とするカラーフィルタ製造装置。

IPC (5件)：

B41J 2/21 , B41J 2/01 , B41J 2/125 , G02B 5/20 101 , G02F 1/1335 505

FI (5件)：

B41J 3/04 101 A , G02B 5/20 101 , G02F 1/1335 505 , B41J 3/04 101 Z , B41J 3/04 104 K

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