特許

J-GLOBAL ID：200903087013504044

感光性ペースト

発明者： 井口 雄一朗 ,  正木 孝樹 ,  岩永 慶二
出願人/特許権者： 東レ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-164656
公開番号（公開出願番号）：特開平10-007432
出願日： 1996年06月25日
公開日（公表日）： 1998年01月13日
要約：

【要約】【課題】高アスペクト比かつ高精度のパターン加工を可能にする感光性ペーストを提供する。【解決手段】無機微粒子と感光性化合物を含む有機成分を必須成分とする感光性ペーストであって、全光線透過率が50〜90%である感光性ペーストであって、好ましくは正規透過率が10〜90%であることを特徴とする感光性ペーストによって解決できる。

請求項（抜粋）：

無機微粒子と感光性化合物を含む有機成分を必須成分とする感光性ペーストであって、厚さ40μmあたりの全光線透過率が50%以上であることを特徴とする感光性ペースト。

IPC (4件)：

C03C 8/14 ,  G03F 7/004 501 ,  H01J 11/02 ,  H01J 17/16

FI (4件)：

C03C 8/14 ,  G03F 7/004 501 ,  H01J 11/02 B ,  H01J 17/16

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 感光性絶縁ガラスペースト
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-187208   出願人：東レ株式会社