特許
J-GLOBAL ID：200903087016850296
超微細加工方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-281518
公開番号（公開出願番号）：特開平6-037088
出願日： 1991年10月28日
公開日（公表日）： 1994年02月10日
要約：
【要約】【目的】 電気化学反応および走査型トンネル顕微鏡の原理を応用することにより、細線やドットパターン等の凹凸形状の超微細加工やその修正が容易に行えるようにする。【構成】 電気化学セル中に基板、耐蝕コーティングしたトンネル探針および参照電極を配置し溶液で満たす。そして、加工情報に対応して、探針駆動機構を駆動しながら探針-基板間電圧およびトンネル電流を制御し、基板表面に局所的な電気化学反応(析出または溶解)を起こして微細な加工を施す。
請求項（抜粋）：
試料を溶液中に浸し、前記試料表面にトンネル電流が流れるようにトンネル探針を近づけ、前記試料と前記トンネル探針の間に流れるトンネル電流を制御しながら、前記トンネル探針を前記試料表面を走査させることを特徴とする超微細加工方法。
IPC (3件)：
H01L 21/3205
, G01B 7/34
, H05K 3/18
