特許

J-GLOBAL ID：200903087017227290

荷電粒子線検出装置

発明者： 米澤 彬 ,  神力 建則 ,  渡辺 泰行 ,  中村 直行 ,  新田 純 ,  穴澤 紀道
出願人/特許権者： 株式会社ホロン
代理人 (1件)： 岡田 守弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-104746
公開番号（公開出願番号）：特開2007-280737
出願日： 2006年04月05日
公開日（公表日）： 2007年10月25日
要約：

【目的】本発明は、荷電粒子線を検出器で検出・増幅する荷電粒子線検出装置に関し、MCPなど検出面の前面に複数枚のメッシュを設けてプラズマによるクリーニング時にこれら複数枚のメッシュに正と負の電圧を印加してプラズマ中の正の電荷および負の電荷を持ついずれの粒子もMCPなどの検出器に到達しないようにすると共に、更に、メッシュを重ならないようにしてプラズマ中の中性粒子がMCPなどの検出面に到達しないようにして検出器の劣化を防止することを目的とする。【構成】 検出器の検出面の前面に複数枚のメッシュを設け、プラズマを発生させて検出器の近傍の空間をクリーニングする時に、複数枚のメッシュに正の電圧および負の電圧を印加する荷電粒子線検出装置である。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

荷電粒子線を検出器で検出・増幅する荷電粒子線検出装置において、 前記検出器の検出面の前面に複数枚のメッシュを設け、 プラズマを発生させて当該検出器の近傍の空間をクリーニングする時に、前記複数枚のメッシュに正の電圧および負の電圧を印加することを特徴とする荷電粒子線検出装置。

IPC (1件)：

H01J 37/244

FI (1件)：

H01J37/244

Fターム (3件)：

5C033NN01 ,  5C033NN02 ,  5C033NP08