光学装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊東哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-296517
公開番号（公開出願番号）：特開平6-118338
出願日： 1992年10月09日
公開日（公表日）： 1994年04月28日
要約：

【要約】【目的】簡便で低コストかつ高精度の光学装置を提供する。【構成】光学系内にその光路を折り曲げるための反射面を有する光路折り曲げ部材を備えた光学装置において、その反射面は異なる分光反射率特性を有する複数の反射領域を同一面上に具備する。

請求項（抜粋）：

光学系内にその光路を折り曲げるための反射面を有する光路折り曲げ部材を備えた光学装置において、その反射面は異なる分光反射率特性を有する複数の反射領域を同一面上に具備することを特徴とする光学装置。

IPC (4件)：

G02B 27/10 , G03F 7/20 501 , G03F 7/20 521 , H01L 21/027

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