特許
J-GLOBAL ID：200903087023879542
ポジ型レジスト組成物並びにそれを用いるカラーフィルターの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
久保山 隆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-344335
公開番号（公開出願番号）：特開平6-194826
出願日： 1992年12月24日
公開日（公表日）： 1994年07月15日
要約：
【要約】【目的】 解像度及び耐熱性等の諸性能に優れたポジ型レジスト組成物、並びに分光特性等の諸性能に優れたカラーフィルターの製造方法を提供する。【構成】 熱又は酸により硬化しうる樹脂、キノンジアジド化合物、架橋剤及び顔料を含有してなるポジ型レジスト組成物、並びに該ポジ型レジスト組成物を基体上に塗布後、マスクを通して露光し、該露光部を現像・除去してポジ型着色パターンを形成させ、次いで、未露光部である上記着色パターンを全面露光して硬化させることからなるカラーフィルターの製造方法。
請求項（抜粋）：
熱により硬化しうる樹脂、キノンジアジド化合物、架橋剤及び顔料を含有してなるポジ型レジスト組成物。
IPC (2件)：
G03F 7/022
, G02B 5/20 101
