特許
J-GLOBAL ID:200903087031881327

太陽電池用シリコン原料粉および太陽電池用シリコンインゴットの製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 小林 英一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-326693
公開番号(公開出願番号):特開平9-165212
出願日: 1995年12月15日
公開日(公表日): 1997年06月24日
要約:
【要約】【課 題】 太陽電池用シリコンの原料となりうる高純度シリコン原料粉および高純度シリコンインゴットの製造方法を提案する。【解決手段】 シリコンインゴットをスライスしてウェーハに加工する時に発生するシリコンスラッジを素材として、該素材から液体を除去したのちの固形分について、酸溶液に浸漬する工程、磁場中とくに1T以上の磁場中あるいは1T未満の磁場および1T以上の磁場中の2段階磁気分離を施す工程等を単独あるいは組み合わせることにより、固形分中の不純物を除去したのち、洗浄および乾燥してシリコン原料粉を得る。このシリコン原料粉あるいはこれら粉を押固めたペレットを高純度溶融シリコン浴中に投入あるいは原料粉の全部又は1部をArガスあるいはH2ガスとともに吹込み、溶解して一方向凝固により高純度シリコンインゴットを得る。
請求項(抜粋):
シリコンインゴットをスライスしてシリコンウェーハに加工する際に発生するシリコンを主成分とするシリコンスラッジを素材として、該素材から固形分を分離したのち、該固形分を酸溶液に浸漬し不純物を除去する酸浸漬工程と、さらに洗浄および乾燥工程を経ることを特徴とする太陽電池用シリコン原料粉の製造方法。
IPC (4件):
C01B 33/037 ,  C30B 11/00 ,  C30B 29/06 501 ,  H01L 31/04
FI (4件):
C01B 33/037 ,  C30B 11/00 Z ,  C30B 29/06 501 Z ,  H01L 31/04 A

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