特許

J-GLOBAL ID：200903087032840543

高さ測定装置

発明者： 神谷 浩太郎
出願人/特許権者： 榎本工業株式会社
代理人 (1件)： 越川 隆夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-055952
公開番号（公開出願番号）：特開2000-249516
出願日： 1999年03月03日
公開日（公表日）： 2000年09月14日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】測定対象物の表面における任意の点の高さを簡単かつ短時間に測定することができる高さ測定装置を提供する。【解決手段】対物レンズ8と、この対物レンズ8を介して測定対象物4の表面の任意に指定された測定点45に向かってレーザー光線5を照射可能なピンホール26を有する発光手段6と、対物レンズ8とピンホール26との間の光路途中に配設されたハーフミラー7と、レーザー光線5が測定点45で反射されたときの反射光9の強度を検出する反射光強度検出手段10と、ピンホール26を対物レンズ8に対して相対移動させる移動手段と、この移動手段の作動によって移動する発光手段6の、対物レンズ8に対するその光軸11方向の移動位置を検出する位置検出手段36とを備え、移動位置に基づいて測定点45の測定対象物4における光軸11方向の高さを測定する。

請求項（抜粋）：

対物レンズと、この対物レンズを介して測定対象物の表面の任意に指定された測定点に向かって光線を照射可能な光源を有する発光手段と、前記対物レンズと前記光源との間の光路途中に配設された反射手段と、前記光線が前記測定点で反射されたときの反射光の強度を検出する反射光強度検出手段と、前記光源または反射手段のうち少なくとも光源を前記対物レンズに対して相対移動させる移動手段と、この移動手段の作動によって移動する前記発光手段または反射手段の、前記対物レンズに対するその光軸方向の移動位置を検出する位置検出手段とを備えた高さ測定装置であって、少なくとも前記反射光の強度を前記反射光強度検出手段によって検出するときには、前記光線のうち前記対物レンズの中心点を通る主光線の線上に前記測定点が位置するよう前記光源から前記中心点までの光路長を前記移動手段により変更し、前記位置検出手段が検出した前記移動位置と当該移動位置に対応して前記反射光強度検出手段が検出した前記反射光の強度との関係から前記測定点の前記対物レンズに対する結像位置と前記光源の位置とが一致するときの前記移動位置を求め、この移動位置に基づいて前記測定点の前記測定対象物における前記光軸方向の高さを測定する構成とした高さ測定装置。

IPC (2件)：

G01B 11/00 ,  G01B 21/02

FI (2件)：

G01B 11/00 B ,  G01B 21/02 A

Fターム (23件)：

2F065AA04 ,  2F065AA25 ,  2F065CC25 ,  2F065DD06 ,  2F065FF26 ,  2F065FF41 ,  2F065GG04 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL12 ,  2F065LL28 ,  2F065LL30 ,  2F065LL46 ,  2F065SS13 ,  2F069AA04 ,  2F069AA06 ,  2F069AA42 ,  2F069BB13 ,  2F069DD15 ,  2F069GG04 ,  2F069GG07 ,  2F069GG62 ,  2F069HH09