特許

J-GLOBAL ID：200903087044741729

SnO膜及びその作製方法

発明者： 小杉 津代志
出願人/特許権者： スター精密株式会社
代理人 (1件)： 長谷川 芳樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-031318
公開番号（公開出願番号）：特開2002-235177
出願日： 2001年02月07日
公開日（公表日）： 2002年08月23日
要約：

【要約】【課題】 多結晶のSnO膜及びこれを得ることが可能なSnO膜の作製方法を提供する。【解決手段】 まず、SnF2を水に溶解して水溶液を作製する。これを220〜340°Cまで加熱した基材1sの表面上に吹き付けると、多結晶のSnO膜からなる酸化物薄膜1fを作製することができる。

請求項（抜粋）：

SnF2が溶解した溶液を作製する工程と、220〜340°Cまで基材を加熱する工程と、加熱された前記基材の表面上に前記溶液を吹き付ける工程とを備えることを特徴とするSnO膜の作製方法。

IPC (3件)：

C23C 18/02 ,  H01M 4/48 ,  H01M 10/40

FI (3件)：

C23C 18/02 ,  H01M 4/48 ,  H01M 10/40 Z

Fターム (26件)：

4K022AA03 ,  4K022AA43 ,  4K022BA15 ,  4K022BA21 ,  4K022BA33 ,  4K022DA06 ,  4K022DB01 ,  4K022DB07 ,  4K022DB24 ,  5H029AJ14 ,  5H029AK03 ,  5H029AL02 ,  5H029AM01 ,  5H029BJ02 ,  5H029BJ14 ,  5H029CJ02 ,  5H029CJ28 ,  5H029DJ17 ,  5H050AA19 ,  5H050BA17 ,  5H050CA07 ,  5H050CB02 ,  5H050DA03 ,  5H050FA05 ,  5H050FA19 ,  5H050GA27