基板のコーティング方法、基板のコーティング装置、液晶表示体の製造方法、および面照明装置の製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：上柳雅誉 , 藤綱英吉 , 須澤修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-157090
公開番号（公開出願番号）：特開2004-046153
出願日： 2003年06月02日
公開日（公表日）： 2004年02月12日
要約：

【目的】基板に対して、品質の高いコーティング膜を得る方法およびその装置を提供すること。【構成】霧化発生装置本体2にセットされた液晶表示体用薄膜材料溶液3は、超音波振動子1の振動によって霧化し、霧5が発生する。送風ノズル7から送風されたガスによって、霧5は霧誘導ノズル6の管内に沿って搬送される。霧誘導ノズル6の先端近傍には静電気発生ノズル20が設置してあり、ここで発生した静電気によって液晶表示体用薄膜材料溶液3の霧5が帯電される。霧5は液晶表示体用基板12に向かって飛行し、液晶表示体用基板12の上面に塗着しコーティングされる。コーティングされた膜は、コーティング時にヒーター15で加熱処理する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板に薄膜材料溶液を塗着する基板のコーティング方法において、前記基板をアースされたテーブル上に配置する工程と、前記薄膜材料溶液を粒状にして前記薄膜材料溶液を帯電させる工程と、前記帯電させた薄膜材料溶液を前記基板に塗着させる工程と、を具備し、前記塗着させる工程は、帯電させたマスクを前記基板の上方に配置し、前記粒状の薄膜材料溶液を前記マスクを通して前記基板に塗着させることを特徴とする基板のコーティング方法。

IPC (6件)：

G02F1/1333 , B05B5/025 , B05B5/08 , B05D1/04 , B05D1/32 , G02F1/13

FI (6件)：

G02F1/1333 500 , B05B5/025 E , B05B5/08 F , B05D1/04 F , B05D1/32 E , G02F1/13 101

Fターム (36件)：

2H088FA02 , 2H088FA10 , 2H088FA18 , 2H088FA20 , 2H088FA30 , 2H088HA01 , 2H088HA03 , 2H088HA21 , 2H088MA18 , 2H088MA20 , 2H090HA13 , 2H090HA14 , 2H090HC01 , 2H090HC11 , 2H090HC18 , 2H090JA06 , 2H090JC07 , 2H090MB14 , 4D075AA09 , 4D075AA53 , 4D075AA73 , 4D075AA87 , 4D075AD11 , 4D075AD16 , 4D075CA47 , 4D075DA06 , 4D075DB13 , 4D075DC24 , 4D075EA02 , 4D075EA07 , 4D075EA45 , 4F034BA01 , 4F034BA33 , 4F034BB23 , 4F034BB28 , 4F034DA24

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭61-234966
特許第3500777号

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