特許
J-GLOBAL ID：200903087053389523
感光性ガラスペースト組成物及びそれを用いた焼成物パターン形成方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
▲吉▼田 繁喜
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-260433
公開番号（公開出願番号）：特開2000-090738
出願日： 1998年09月14日
公開日（公表日）： 2000年03月31日
要約：
【要約】【課題】 粘度安定性に優れ、高い解像性を示し、高精細な焼成物パターンを形成できる感光性ガラスペースト組成物及び焼成物パターン形成方法を提供する。【解決手段】 組成物は、(A)側鎖に下記一般式(1)で表わされる基を2個以上有する重量平均分子量1,000〜50,000の重合体、(B)光重合開始剤、(C)加熱により酸を発生する化合物、(D)光重合性モノマー、(E)希釈溶剤、(F)ガラスフリット、あるいはさらに(G)セラミック粉末、黒色顔料、導電性金属粉等の無機粉体を含有する。該組成物を基板に塗布し、加熱乾燥してタックフリーの塗膜を形成すると同時に酸を発生させ、上記重合体(A)の側鎖を脱ブロック化させてカルボン酸を発現させた後、活性エネルギー線を選択的に照射し、非照射部の塗膜をアルカリ水溶液で現像して除去し、焼成する。あるいは、活性エネルギー線照射後に塗膜を加熱し、カルボン酸を発現させることもできる。【化1】
請求項（抜粋）：
(A)側鎖に下記一般式(1)で表わされる基を2個以上有する重量平均分子量1,000〜50,000の重合体、(B)活性エネルギー線の照射によりラジカルを発生する化合物、(C)加熱により酸を発生する化合物、(D)光重合性モノマー、(E)希釈溶剤、及び(F)ガラスフリットを含有することを特徴とするアルカリ現像型の感光性ガラスペースト組成物。【化1】
IPC (8件)：
H01B 3/08
, C08F 2/50
, G03F 7/004 501
, G03F 7/032
, H01J 9/02
, H01J 9/20
, H01J 11/02
, C09D 4/00
H01B 3/08 A
, C08F 2/50
, G03F 7/004 501
, G03F 7/032
, H01J 9/02 F
, H01J 9/20 A
, H01J 11/02 B
, C09D 4/00
