特許

J-GLOBAL ID：200903087053840845

平面トランス

発明者： 國久 武人 ,  山本 真司 ,  横山 隆弘 ,  西嶋 将明 ,  西井 勝則
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 滝本 智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-107613
公開番号（公開出願番号）：特開平11-307723
出願日： 1998年04月17日
公開日（公表日）： 1999年11月05日
要約：

【要約】【課題】 占有面積が小さく、また、寄生抵抗の小さい平面トランスを製造する。【解決手段】 半導体基板31上に第1の平面渦状コイル1と、前記第1の平面渦状コイル1上に設けられた第1の絶縁膜33と、前記第1の絶縁膜33上に設けられた第2の平面渦状コイル2と、前記第2の平面渦状コイル2上に設けられた第2の絶縁膜34と、前記第2の絶縁膜34上に設けられた第3の平面渦状コイル3とを順次形成し、前記第1の平面渦状コイル1と前記第2の平面渦状コイル2とを、渦中心端同士で接続し、前記第2の平面渦状コイル2と前記第3の平面渦状コイル3とを、渦外側端同士で接続する。

請求項（抜粋）：

半導体基板上に第1の平面渦状コイルと、前記第1の平面渦状コイル上に設けられた第1の絶縁膜と、前記第1の絶縁膜上に設けられた第2の平面渦状コイルと、前記第2の平面渦状コイル上に設けられた第2の絶縁膜と、前記第2の絶縁膜上に設けられた第3の平面渦状コイルとを有し、前記第1の平面渦状コイルと前記第2の平面渦状コイルとは、渦中心端同士で接続され、前記第2の平面渦状コイルと前記第3の平面渦状コイルとは、渦外側端同士で接続され、前記第1の平面渦状コイルの渦外側端と、前記第1の平面渦状コイルと前記第2の平面渦状コイルとの接続部分と、前記第2の平面渦状コイルと前記第3の平面渦状コイルとの接続部分と、前記第3の平面渦状コイルの渦中心端とには、それぞれ信号端子が設けられていることを特徴とする平面トランス。

IPC (2件)：

H01L 27/04 ,  H01L 21/822