特許
J-GLOBAL ID：200903087056916060
X線分析装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉本 修司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-292361
公開番号（公開出願番号）：特開平8-128975
出願日： 1994年10月31日
公開日（公表日）： 1996年05月21日
要約：
【要約】【目的】 試料から発生する波長の異なる複数の2次X線について、同時に正確な測定が可能なX線分析装置を提供する。【構成】 単一の検出器17と選択的に開放される複数の受光スリット18,19とを用い、弯曲分光素子11にログスパイラル型のものを用い、かつ、発散スリット7においては、発散2次X線9,10の束が発散する発散角φを決定するスリット幅wは、検出しようとする波長の前記発散2次X線9,10が前記弯曲分光素子11で回折されて対応する前記受光スリット18,19で焦点を結ぶ大きさに設定されているX線分析装置。
請求項（抜粋）：
1次X線を発生するX線源と、1次X線を照射された試料から発生する2次X線を通過させる発散スリットを有する発散スリット部材と、前記発散スリット部材を通過した発散2次X線が入射されるログスパイラル型の弯曲分光素子と、前記弯曲分光素子で回折された分光2次X線を通過させる受光スリット装置と、前記受光スリット装置を通過した受光2次X線が入射される単一の検出器とを備え、前記受光スリット装置は、前記分光2次X線をいずれか一つの波長について通過させる受光スリットを複数開口した受光スリット部材と、前記複数の受光スリットのいずれか一つを選択的に開放して、前記受光2次X線を前記検出器に入射させる選択開放手段とを備え、前記発散スリットにおいて発散2次X線の束が発散する発散角を決定するスリット幅は、検出しようとする波長の前記発散2次X線が、前記弯曲分光素子で回折されて、対応する前記受光スリットで焦点を結ぶ大きさに設定されているX線分析装置。
引用特許：
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