特許

J-GLOBAL ID：200903087060174990

形状測定装置

発明者： 塩澤 久 ,  板倉 義次
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 永井 冬紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-027160
公開番号（公開出願番号）：特開平8-219752
出願日： 1995年02月15日
公開日（公表日）： 1996年08月30日
要約：

【要約】【目的】 プローブの接触圧の変動を抑制して測定精度を向上させる。【構成】 スライド部とプローブとの間隔を一定に保つようにスライド部の位置をフィードバック制御する制御系に、プローブの速度をフィードフォワード要素として加える。

請求項（抜粋）：

スライド部に弾性体を介して取り付けられ、ならいステージ上に設置された被測定物に接触するプローブと、前記スライド部を駆動するスライド駆動手段と、前記スライド部の位置を検出するスライド位置検出手段と、前記プローブの位置を検出するプローブ位置検出手段と、前記スライド位置検出手段および前記プローブ位置検出手段により検出された位置に基づいて、前記ならいステージを移動して前記被測定物の形状を測定する時に前記スライド部と前記プローブとの間隔を一定に保つように前記スライド駆動手段により前記スライド部の位置をフィードバック制御する制御手段とを備えた形状測定装置において、前記制御手段のフィードバック制御系に、前記プローブの速度をフィードフォワード要素として加えることを特徴とする形状測定装置。

IPC (4件)：

G01B 21/00 ,  B23Q 33/00 ,  G01B 7/28 ,  G01B 21/20 101

FI (4件)：

G01B 21/00 B ,  B23Q 33/00 Z ,  G01B 7/28 E ,  G01B 21/20 101 P