特許

J-GLOBAL ID：200903087061101717

ガラスセラミツク基板の製造方法

発明者： 工藤 康人
出願人/特許権者： 住友金属鉱山株式会社
代理人 (1件)： 菅 直人 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-207491
公開番号（公開出願番号）：特開平5-028867
出願日： 1991年07月24日
公開日（公表日）： 1993年02月05日
要約：

【要約】【目的】 焼成時の収縮率を可及的に低減して寸法精度の高い製品を得ることのできるガラスセラミック基板の製造方法を提供することを目的とする。【構成】 少なくとも、ガラスセラミック粉末を原料としたグリーンシートを作成する工程と、耐火物粉末を原料としたグリーンシートを作成する工程と、上記のガラスセラミック粉末を原料とした1枚以上のグリーンシートの両面を上記の耐火物粉末を原料としたグリーンシートで挟んで成形する工程と、その成形体を1100°C以下の温度で焼成する工程と、その焼成体から耐火物粉末を除去する工程とを有することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

少なくとも、ガラスセラミック粉末を原料としたグリーンシートを作成する工程と、耐火物粉末を原料としたグリーンシートを作成する工程と、上記のガラスセラミック粉末を原料とした1枚以上のグリーンシートの両面を上記の耐火物粉末を原料としたグリーンシートで挟んで成形する工程と、その成形体を1100°C以下の温度で焼成する工程と、その焼成体から耐火物粉末を除去する工程とを有することを特徴とするガラスセラミック基板の製造方法。

IPC (4件)：

H01B 19/00 321 ,  H01B 17/60 ,  H01L 23/12 ,  H05K 1/03

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭62-260777
  
• 特開平2-044043
  
• 特開昭63-210058