特許
J-GLOBAL ID：200903087063846418
位置決めテーブル装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-250317
公開番号（公開出願番号）：特開平5-064487
出願日： 1991年09月04日
公開日（公表日）： 1993年03月12日
要約：
【要約】【目的】 多相型のリニアモータを備えた位置決めテーブル装置において、位置検知素子を排除してもステージが安定してイニシャライズ動作が行うことができる装置構成を提供する。【構成】 テーブル1の位置を検出する位置検出器9と、テーブルの位置に応じて通電すべきコイル及び電流方向を選択的に切り換える多相型のモータ(3、4)を備えた位置決めテーブル装置において、所定の指令値に対するテーブルの移動量により、通電するコイル及び電流方向を決定する判断部17を具備する。
請求項（抜粋）：
テーブルの位置を検出する位置検出器と、テーブルの位置に応じて通電すべきコイル及び電流方向を選択的に切り換える多相型のモータを備えた位置決めテーブル装置において、所定の指令値に対するテーブルの移動量により、通電するコイル及び電流方向を決定する判断部を具備することを特徴とするテーブル装置。
IPC (2件)：
H02P 7/00 101
, H02K 41/03
