特許

J-GLOBAL ID：200903087066529642

研磨装置のヘッド

発明者： 富樫 謙
出願人/特許権者： スピードファム株式会社
代理人 (1件)： 塚原 孝和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-058404
公開番号（公開出願番号）：特開平10-235554
出願日： 1997年02月25日
公開日（公表日）： 1998年09月08日
要約：

【要約】【課題】 研磨作業時の研磨装置のヘッドのリテーナリングの摩耗を防止することにより、長期に亘つてワークに対する所期の研磨精度を維持する。【解決手段】 ヘッド4は、ワーク100を下定盤1側に押圧するためのプレッシャプレート45と、プレッシャプレート45の外周部に取り付けられたチャックホルダ44と、プレッシャプレート45の外周側面とチャックホルダ44とに狭持され、下面がプレッシャプレ一ト45の表面よりも下定盤1側に所定量だけ突出してワーク100を保持するリテーナリング46とを具備している。そして、チャックホルダ44とリテーナリング46の少なくとも一方が、研磨パッドlaよりも硬質なセラミック材料で形成されている。

請求項（抜粋）：

ワークを下定盤側に押圧するための押圧部材と、上記押圧部材の外周部に取り付けられた外周リング部材と、上記押圧部材と上記外周リング部材とに狭持され、下面が上記押圧部材の下面よりも上記下定盤側に所定量だけ突出して上記ワークを保持する保持リング部材と、を具備する研磨装置のヘッドにおいて、上記外周リング部材と上記保持リング部材との少なくとも一方を、上記下定盤表面部よりも硬質の材料で形成した、ことを特徴とする研磨装置のヘッド。