特許

J-GLOBAL ID：200903087072891922

真空保管庫

発明者： 近藤 文雄 ,  篠崎 弘行 ,  梶山 雅章 ,  松村 正夫 ,  吉岡 毅
出願人/特許権者： 株式会社荏原製作所
代理人 (1件)： 渡邉 勇 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-285766
公開番号（公開出願番号）：特開平7-117809
出願日： 1993年10月21日
公開日（公表日）： 1995年05月09日
要約：

【要約】【目的】 被保管物を真空状態を保持したまま移載することのできる、清浄度の極めて高い真空保管庫を提供する。【構成】 被保管物12を真空雰囲気で保管する真空保管庫1において、該真空保管庫1は、真空保管室5と、ロボット室3と、ロードロック室2とから構成され、該各室はゲートバルブ6,7を介して気密に接続され、上記被保管物12の移載時にも、上記真空保管室1の真空を保持する手段を備えた。

請求項（抜粋）：

被保管物を真空雰囲気で保管する真空保管庫において、該真空保管庫は、真空保管室と、ロボット室と、ロードロック室とから構成され、該各室はゲートバルブを介して気密に接続され、上記被保管物の移載時にも、上記真空保管室の真空を保持する手段を備えたことを特徴とする真空保管庫。

IPC (6件)：

B65G 1/00 521 ,  B65G 1/00 543 ,  B65G 49/00 ,  B65G 49/07 ,  B65G 54/02 ,  H01L 21/68